多钢瓶全自动气体柜
设备特点:
自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断
采用PLC控制,触控屏为人机界面
内部有安全联锁功能、阀门流量安全感知设计功能,设备操作安全可靠
选配活干、烟感、气体侦测等功能
内部气路盘可根据客户要求定制
技术参数:
前过滤器:5pm
最终过滤器:0.003pm
标准配置:单瓶柜、双瓶柜、三瓶柜
适用领域:
高校实验室、材料分析实验室
芯片半导体
光伏太阳能电池
生物医药工程
微电子先材料等行业